超凈工作臺原理

潔凈工作臺要求工作臺內部呈正壓（工作臺內部的壓力高于外界空氣的壓力），以防止灰塵和空氣中微生物的污染，阻擋空氣從外向內的流動，并使用HEPA過濾器，其設計只允許經過具有高性能除塵功能的過濾器凈化的空氣進入內部。一般除塵效率在99%以上。

潔凈工作臺的結構在JIS B9922中有詳細規定。例如，除了墻壁不能剝落或生銹外，主空氣過濾器必須是HEPA或ULPA。另外，在處理酸、有機或有毒氣體時，規定結構必須能夠按zhiding路線排出空氣，除非有協議，否則不得同時打開照明燈和殺菌燈。

性能方面，額定風速設定為0.3～0.6m/s，平均風速為額定風速的±20%，潔凈度為1～8級。在這種情況下，可確定風速由交貨方與交貨方協議。